场发射扫描电子显微镜
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6/人使用者
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6/次总次数
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4503/小时总时长
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5/人收藏者
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收费标准
0元/小时 -
设备型号
SU8600 -
当前状态
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管理员
陶凯 陈慧娟 18800205935 15980816030 -
放置地点
强业路555号
- 仪器信息
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
场发射扫描电子显微镜
资产编号
ZY20231200772
型号
SU8600
规格
SU8600
产地
厂家
日立
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
任务二
使用性质
科研
所属分类
光学成像设备
资产负责人
陶凯
联系电话
18800205935,15980816030
联系邮箱
放置地点
强业路555号
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
"1、二次电子分辨率0.6nm@15kV，0.7nm@1kV，放大倍数20×1000000
2、冷场发射电子枪，加速电压0.5~30kV，着陆电压0.01~20kV
3、5轴样品台，移动范围X/Y：0~110mm；Z：1.5~40mm；T：-5~70°；R：360°。样品最大直径150mm
4、标配UD及LD二次电子探测器，可切换SE/BSE信号
5、配备X射线能谱仪EDS，可进行元素能谱分析"
2、冷场发射电子枪，加速电压0.5~30kV，着陆电压0.01~20kV
3、5轴样品台，移动范围X/Y：0~110mm；Z：1.5~40mm；T：-5~70°；R：360°。样品最大直径150mm
4、标配UD及LD二次电子探测器，可切换SE/BSE信号
5、配备X射线能谱仪EDS，可进行元素能谱分析"
主要功能及特色
SU8600使用最新一代冷场电子枪，可在低加速电压下进行高分辨率观察，同时可进行长时间测试及大电流分析。适用于半导体器件、材料科学、生命科学等方向的微观尺度分析。
检测项目
附件下载
公告
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