探针式轮廓仪
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6/人使用者
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6/次总次数
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4965/小时总时长
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3/人收藏者
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收费标准
0元/小时 -
设备型号
P17 -
当前状态
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管理员
陈慧娟 陶凯 18800205935 15980816030 -
放置地点
强业路555号
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
探针式轮廓仪
资产编号
ZY20231200756
型号
P17
规格
P17
产地
厂家
KLA
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
任务二
使用性质
科研
所属分类
其他设备
资产负责人
陶凯
联系电话
18800205935,15980816030
联系邮箱
放置地点
强业路555号
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
"1、使用LVDC传感器，测试重复性：<4Å （1um台阶，2um探针下实现）
2、Z向测试范围： 0-327um，分辨率：0.2 Å
3、最大扫描长度：200mm（无需拼接），单次采点数：1,000,000，采样频率：5-2000Hz可调
4、加载力：0.5~50mg闭环反馈，适用于各类薄膜
5、显微镜CCD：正视+侧视（两个均包含）
6、样品台：200mm电动样品台，支持最大8寸晶圆"
2、Z向测试范围： 0-327um，分辨率：0.2 Å
3、最大扫描长度：200mm（无需拼接），单次采点数：1,000,000，采样频率：5-2000Hz可调
4、加载力：0.5~50mg闭环反馈，适用于各类薄膜
5、显微镜CCD：正视+侧视（两个均包含）
6、样品台：200mm电动样品台，支持最大8寸晶圆"
主要功能及特色
P-17探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200毫米，无需拼接。适用于半导体器件、MEMS等微观尺度分析。
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检测项目
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